产品参数
| 序 | 项目 | 规格 |
| 1 | 设备尺寸 | 530mm*538mm*674 mm（W*H*D） |
| 2 | 电力需求 | AC220V，50HZ |
| 3 | 腔体尺寸 | 尺寸：210mm*210mm*220mm（W*H*D），9L 材质：铝合金 |
| 4 | 电极形式 | 内置平板式电极，尺寸：180*185mm； |
| 5 | 托盘载物 | 单层载物面积：150*170mm，共 2 层 |
| 6 | 真空泵 | 油泵，抽速：3L/S，极限真空：1Pa |
| 7 | 等离子发生源 | 高频 40kHZ，500w 连续可调 |
| 8 | 进气系统 | 共 2 路进气；0-500sccm 质量流量控制器 |
| 9 | 控制系统 | PLC+触摸屏 |
| 10 | 真空测量系统 | 日本爱发科皮拉尼真空计 |
| 11 | 处理时间 | 0-15min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用气体 | Ar、O2、N2、Ar+ H2、空气等 |
| 14 | 权限设置 | 两级权限 |
设备外形及尺寸参考图
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