科研用真空等离子设备，又称之为真空等离子清洗机/等离子表面处理设备。

产品用途：
真空等离子设备适用于实验室科研、小批量生产，是小部件纳米清洗、表面活化、表面改性的理想选择。

应用领域：
真空等离子设备 适用于PCB 制造、半导体/LED制造、TSP/OLED 设备、真空等离子喷涂系统。

功能特点：
1、配置安全可靠
   • 灵活易用的铝滑动门
   • 电磁安全屏蔽保护
   • 采用气浴电极
   • MFC精密控制流量
   • 多路气体通道

2、性能优越
  • 极低真空度、快速处理
  • 真空室等离子体分布均匀
  • 绝佳的可重复性
  • 多种型号供选择
  • 自由配置，最贴心的定

3、灵活使用，功能广泛
  • 表面清洁 (Plasma Cleaning)
  • 表面活化 (Plasma Activation)
  • 表面蚀刻 (Plasma Etching)
  • 表面涂层 (Plasma Coating)
  • 表面钝化 (Plasma

相信通过上面介绍，你已经了解了科技用小型真空等离子清洗机的功能特点。