低温等离子处理设备是气体分子在真空等离子清先机放电等特殊场合下产生的质量。等离子清洗 / 刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，
用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。